Главная / Каталог / Насосы вакуумные / Вакуумный насос ATP100

Вакуумный насос ATP100

Фланец на всасывании: DN100 ISO-K или CF-F
Скорость откачки по N2: 100 л/с
Скорость откачки по He: 60 л/с
Скорость откачки по H2: 40 л/с
Степень сжатия по N2: 80000000
Степень сжатия по He: 2500
Степень сжатия по H2: 300
Минимальное остаточное давление: 5/1000000000 мбар
Максимальное давление на всасывании: 0,1 мбар
Максимальное давление на выхлопе: 3/1000 мбар
Рабочее положение: любое
Скорость вращения ротора: 27000 об/мин
Время запуска: 1,45 мин
Максимальная рабочая температура окружающего воздуха турбины: 50°C
Максимальная рабочая температура окружающего воздуха контроллера: 40°C
Выхлопной фланец: DN25
Контроллер: ACT200TOEM
Максимальное энергопотребление: 100 Вт

Химстойкий турбомолекулярный насос серии АТР

Турбомолекулярный насос спроектирован для работы с коррозионно-активными газами, в том числе и в полупроводниковой промышленности. Насос имеет вход для продувки инертным газом для предотвращения воздействия откачиваемых газов на подшипники. Кроме того, в конструкцию турбомолекулярного насоса заложено специальное обратное динамическое уплотнение, которое минимизирует количество химически активных газов, достигающих подшипники даже в том случае, когда отсутствует продувка (например, на этапе калибровки технологического процесса).

Краткое описание контролера

Контроллер оснащен LCD дисплеем. Отображение текущей скорости вращения ротора и потребляемой мощности, температуры насоса и контроллера, срок службы, сбои в работе. Контроль скорости вращения ротора, напуска воздуха, автостарт, задержка старта, расписание обслуживания. Интерфейс RS232/485. Удаленное управление. Внешние входы: удаленный старт/стоп, режим ожидания. Внешние выходы: запуск насоса, насос на скорости, режим ожидания, вентиляционный клапан открыт/закрыт, подача питания на вентиляторы воздушного охлаждения.

Цена: 135 000 руб.
 
 
Рейтинг@Mail.ru         Яндекс.Метрика   Яндекс цитирования